[bero]

السلام عليكم ورحمة الله وبركاته

حقيقة الأمر معرفتي به قليلة فلم أعمل به بشكل عملي ولكني سأحاول وضع ما يفيدك في الأمر ان شاء الرحمن..

هي طريقة ترسيب أفلام أحادية التبلور على دعامة كذلك أحادية التبلور.. وترسيب الأفلام إما يكون كأفلام epitaxial أو طبقات epitaxial , حيث أن كلمة epitaxial جذورها اغريقية فالمقطع epi يعني أعلى و taxial يعني في حالة مرتبة ويمكن ترجمتها بمعنى ترتيب فوقي أي ترتيب طبقات فوق بعضها البعض..

هذا النوع من الأفلام يمكن انماءه من مواد غازية أو سائلة لأن الدعامة ستكون كبذرة بلورية ويترسب الفيلم على شبيكة الدعامة ويطابق اتجاهها (اتجاه ترتيب البلورات فيها) وهذا النوع من الترسيب يختلف عن الطرق الأخرى حيث ترسب فيها أفلام عديدة التبلور أو أمورفية (غير متبلورة) حتى على دعامات قد تكون وحيدة التبلور..

إن رًسّب الفيلم على دعامة من نفس المركب (الفيلم والدعامة نفس التركيب) سميت هذه العمليه homoepitaxy وماغير ذلك سميت heteroepitaxy.

Epitaxy تستخدم في تصنيع القواعد السيلكونية لـ BJTs و CMOS الحديثة وهي مهمة للمركبات من أشباه الموصلات مثل GaAs.. وفي العمليات الصناعية يتم التحكم في نسبة وانتظام السماكة ووضوحية ونقاوة السطوح..

ويوجد 3 طرق للحصول على أفلام بطريقة Epitaxial ..

1- vapor-phase epitaxy (VPE) وغالبا تستخدم للسيلكون..

2- Molecular-beam and liquid-phase epitaxy (MBE and LPE) وغالبا تستخدمان لمركبات أشباه الموصلات..

3- Solid-phase epitaxy تستخدم غالبا لمعالجة البلورات المتضررة..

ان اردت الاستزادة في هذا الأمر ...

اليك هنــــــــــــــــــــــــــــــا


و هنــــــــــــــــــــــــــــــا


وفقك الله..